气体灭火在我国始于80年代，盛于90年代，新型灭火方式和灭火剂在应用过程中经历了许多变化，在火险隐患、火灾扑救、环境保护、经济实用等诸多因素中选择一种满意的消防设防方案，常常十分复杂。本文就此作一些讨论，仅供同仁参考详细介绍

从日本半导体制程洁净及蚀刻用气体之现况反观国内之发展 NF3在执行CVD腔体洁净(ChamberCleaning)扮演重要的角色，清洁效率极高，近年来受到「京都议定书」对全氟化物PFC（PerfluorinatedCo...详细介绍

目前太阳电池用硅材料大多来自半导体硅材料的外品和单晶硅的头尾料,不能满足光伏工业发展的需要。同时硅材料正是构成晶体硅太阳电池组件成本中很难降低的部分,因此为了适应太阳电池高效率、低成本、大规模生产发展的需要,最有效的办法...详细介绍

介绍了年产300万硅抛光片、60万硅外延片，主要生产4~12英寸的硅抛光片以及6~8英寸的硅外延片的微电子工厂的气体需求。主要有三氯氢硅、氯化氢、磷烷、乙硼烷、氢气和氮气。特种气体存放于进口的特气钢瓶柜，氯化氢HCl、三...详细介绍

1. 熔炉：熔炉与分解炉都是由铝制的，易于热交换；均可由电或蒸汽加热。熔炉容量是适用于25kg/h的厂房。熔炉是该厂房最关键的部分，型号越小更容易控制。 A. 熔炉：开始将固体NH4NO3送进熔炉，不断加热以熔解NH4...详细介绍

标准气体组份含量的不确定度来源于原料气体纯度的不确定度(组份气体纯度的不确定度以及稀释气中I组份含量及其测定的不确定度)和配制称量过程的不确定度以及混合气体在瓶内的稳定性,均匀性引起的不确定度.详细介绍

1实验目的 降低钢瓶抽真空处理温度，提高钢瓶抽真空处理效率。（总共用时6天） 2实验设备与原料 状态良好的加热抽真空装置1套。 36个40L新钢瓶(重庆益峰)。 5支H2O<3ppm的高纯氮气。（0.5天）...详细介绍

2003年广东省规模以上石化工业总产值2045亿元，占全省工业总产值9.5%，占全国石化工业总产值10%。主要产品产量:加工原油2060万吨，汽煤柴三大类成品油1233万吨，乙烯56万吨，合成树脂208万吨，轮胎647万...详细介绍

2006年是“十一五”计划的开局年，也是中国集成电路产业继续快速前行的发展年。2006年苏州市新成立的集成电路企业及配套企业近20家，其中包括三星电子（苏州）半导体第二工厂、晶方半导体科技（苏州）有限公司、苏州震坤科技有...详细介绍

半导体制程来了解气体的应用，则薄膜制程会是相当大宗的使用部分，薄膜制程依照其成长方式之不同，可分金属化溅镀薄膜、CVD薄膜、磊晶，金属化溅镀(物理气相沈积)主要应用在金属层成长，如铝、铜等，其原理是利用氩气电浆轰击金属靶...详细介绍