六氟化硫，分子式SF6，相对分子质量为146.06，常温常压下为无色、无味、无毒、无腐蚀性、不燃、不爆炸的气体，密度约为空气的5倍，标准状态下密度为6.0886kg/立米.在低温和加压情况下呈液态，冷冻后变成白色固体。升华温度为-63.9℃,熔点-50.8℃,临界温度45.55℃，临界压力为3.759MPa。

从有关部门的试验及研究结果可知，六氟化硫气体的毒性主要来自5个方面。

（1）六氟化硫产品不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、氟化氢等有毒气体。

（2）电器设备内的六氟化硫气体在高温电弧发生作用时而产生的某些有毒产物。

（3）电器设备内的六氟化硫气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些有毒产物。

（4）电器设备内的六氟化硫气体及分解物与电极（Cu－W合金）及金属材料（AL、Cu）反应而生成某些有毒产物。

（5）电器设备内的六氟化硫气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）等绝缘件；或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等产物。